Описание композитных нагревательных элементов PBN/PG
Пиролитический нитрид бора используется в качестве подложки для нагревательного элемента PBN. Пиролитический графит (PG) помещается на поверхность пластин PBN методом CVD в качестве проводника и нагревателя. В зависимости от требований различных приложений, нагревательный элемент из PG может быть снова покрыт PBN или просто оставаться открытым.
Поскольку PG и PBN очень чистые (99,99% или даже выше) и очень стабильны в вакууме или инертной атмосфере, композитные нагревательные элементы PBN/PG могут быть очень долговечными и сохранять чистоту в камере. Он может быть нагрет до 1600℃ за очень короткое время без выделения каких-либо газовых компонентов. Он также обладает хорошей устойчивостью к воздействию кислот и щелочей. Эти нагревательные элементы являются идеальными продуктами для полупроводниковой промышленности и приложений, требующих высокой температуры, высокого вакуума и высокой чистоты.
Технические характеристики композитных нагревательных элементов PBN/PG
Диаметр:
|
0.5"~4", или по индивидуальному заказу
|
Насыпная плотность
|
2.0-2.19g/cm3
|
Макс. Рабочая температура (вакуум)
|
2400℃
|
Объемное удельное сопротивление (Ω-см)
|
3.11*1011
|
Прочность на изгиб (МПа)
|
243.63
|
Теплопроводность (Вт/М-к)
|
43-60
|
Индивидуальные услуги:
Форма
|
Вафля
|
Прямоугольник
|
Трубка
|
Размер (мм)
|
φ380 MAX
1.0-2.5
|
265*265 MAX
1.0-2.5
|
φ265 MAX
400 MAX Длина
|
Образец
|

|

|

|
Композитные нагревательные элементы PBN/PG Области применения
- Нагрев полупроводниковых подложек (в областях MBE, MOCVD, напыление покрытий, CVC и т.д.)
- Нагрев подложек сверхпроводников.
- Нагрев образцов для электронного микроскопа.
- Нагрев при испарении металлов.
Упаковка композитных нагревательных элементов PBN/PG
Наши композитные нагревательные элементы PBN/PG тщательно обрабатываются во время хранения и транспортировки, чтобы сохранить качество нашего продукта в его первоначальном состоянии.
25 кг/мешок