Описание графитовых лотков с покрытием из карбида кремния
Графитовые лотки с покрытием из карбида кремния создаются путем покрытия поверхности высокоочищенного изотропного графита тонким слоем карбида кремния методом химического осаждения из паровой фа зы (CVD). Графитовые лотки с покрытием SiC широко используются в полупроводниках и покрытиях.
Процесс CVD обеспечивает чрезвычайно высокую чистоту и теоретическую плотность покрытия SiC без пористости. Более того, поскольку карбид кремния очень твердый, его можно отполировать до зеркальной поверхности. CVD-покрытие карбида кремния (SiC) обладает рядом преимуществ, включая сверхвысокую чистоту поверхности и высокую износостойкость. Поскольку изделия с покрытием отлично работают в условиях высокого вакуума и высоких температур, они идеально подходят для применения в полупроводниковой промышленности и других сверхчистых средах.
Stanford Advanced Materials также предлагает графитовые лотки с покрытием из карбида кремния.
Технические характеристики графитовых лотков с покрытием из карбида кремния
Формула соединения
|
SiC
|
Молекулярный вес
|
40.1
|
Внешний вид
|
Черный
|
Температура плавления
|
2,730℃ (4,946℉) (разлагается)
|
Плотность
|
3,0 - 3,2 г/см3
|
Электрическое сопротивление
|
От 1 до 4 10x Ω-m
|
Коэффициент Пуассона
|
0,15 - 0,21
|
Удельная теплота
|
670 - 1180 Дж/кг-К
|
Толщина покрытия
|
50~500um
|
Преимущества графитовых лотков с покрытием из карбида кремния
- Слой карбида кремния очень твердый и стабильный при высоких температурах. Он обладает превосходной устойчивостью к окислению, коррозии и химическому воздействию.
- Графит с покрытием SiC предотвращает разделение и рассеивание частиц графита, а также выделение газов и примесей в графитовой матрице.
Области применения графитовых лотков с покрытием из карбида кремния
- CVD-покрытие из карбида кремния уже применяется в полупроводниковой промышленности, например, в лотках MOCVD, RTP и камерах травления оксидов, поскольку нитрид кремния обладает высокой устойчивостью к тепловым ударам и может выдерживать высокоэнергетическую плазму.
- Карбид кремния широко используется в полупроводниках и покрытиях.
Упаковка графитовых лотков с покрытием из карбида кремния
Наши графитовые лотки с покрытием из карбида кремния тщательно обрабатываются, чтобы минимизировать повреждения при хранении и транспортировке и сохранить качество нашей продукции в первоначальном состоянии.
Часто задаваемые вопросы о графитовых лотках с покрытием из карбида кремния
Q1: Каковы ключевые особенности графитовых лотков с покрытием из карбида кремния?
A1: Графитовые лотки с покрытием из карбида кремния (SiC) сочетают в себе превосходную высокотемпературную стойкость графита с повышенной коррозионной стойкостью и защитой от окисления, обеспечиваемой покрытием SiC. Они широко используются в высокотемпературных печах, металлургии и керамической промышленности, обеспечивая превосходную химическую стабильность и износостойкость.
Q2: Какова максимальная рабочая температура этих лотков?
A2: Графитовые лотки с покрытием из карбида кремния обычно выдерживают температуру до 1600°C, в зависимости от размера лотка и толщины покрытия.
Q3: Как покрытие SiC улучшает эксплуатационные характеристики лотков?
A3: Покрытие SiC защищает графитовый лоток от высокотемпературного окисления, значительно повышая его стойкость к химической коррозии. Этот защитный слой предотвращает разрушение поверхности в суровых условиях, тем самым продлевая срок службы лотка.