Снято с производства (Снято с производства) GR5613 PECVD Графитовая лодка

Описание графитового контейнера PECVD

Графитовый контейнер PECVD является одним из носителей обычных кремниевых пластин в процессе производства покрытия. Он имеет множество контейнеров с определенным интервалом в структуре, и между двумя соседними контейнерами существует очень узкое пространство, в которое помещены кремниевые пластины с обеих сторон пустого пространства. Поскольку графит обладает хорошей проводимостью и теплопроводностью, переменное напряжение прикладывается между двумя соседними контейнерами для формирования положительных и отрицательных электродов. Когда в камере создаётся определенное давление и газ, происходит свечения между двумя контейнерами. Это свечение может разложить газ SiH4 и NH3 в пространстве, образуя ионы Si и N, которые соединяются, формируя молекулы SiNx. Эти молекулы осаждаются на поверхности кремниевой пластины для достижения цели покрытия.

Графитовый контейнер PECVD (Плазменно-Усиленное Химическое Осаждение) представляет собой специализированный контейнер или носитель, изготовленный из графита, используемый в процессе PECVD для осаждения тонких пленок на различных подложках. В контексте производства полупроводников и других отраслей, где критично осаждение тонких пленок, эти графитовые контейнеры удерживают и транспортируют подложки (например, кремниевые пластины) через камеру PECVD, где происходит процесс осаждения.

Технические характеристики графитового контейнера PECVD

Применение графитового контейнера PECVD

• Производство полупроводников: Графитовые контейнеры широко используются в производстве полупроводников для осаждения различных типов тонких пленок, включая диэлектрики, проводники и полупроводники.
• Солнечные панели: В производстве фотоэлектрических ячеек графитовые контейнеры PECVD используются для осаждения антибликующих покрытий и других слоев, которые улучшают эффективность солнечных ячеек.
• Оптоэлектроника: Для компонентов, требующих точных оптических свойств, PECVD используется для осаждения слоев с определенными показателями преломления, а графитовые контейнеры транспортируют подложки через этот процесс.

Упаковка графитового контейнера PECVD

Наш графитовый контейнер PECVD осторожно обрабатывается во время хранения и транспортировки, чтобы сохранить качество нашего продукта в его исходном состоянии.