Снято с производства IF5320 (Снято с производства) 650C Две зоны CSS печь для быстрого термического процесса OTF-1200X-RTP-II

Структура печи и вакуумная камера

• Два нагревателя, два контроллера температуры и двухканальные газовые расходомеры интегрированы в мобильную алюминиевую раму
• Камера сделана из высокопуритетной кварцевой трубы
• Размер кварцевой трубы: 11" OD/10.8" ID x 9" H
• Карбоновое волокно в качестве тепловой изоляции
• Вакуумные фланцы из нержавеющей стали 316
• Общие размеры: 850(Д)×745(Ш)×1615(В) мм

Вакуумные фланцы

• Верхний фланец с одним вакуумным портом KFD-25 и двумя газовыми выходами (требуется труба 1/4") может перемещаться вверх или вниз вручную для удобной загрузки и выгрузки подложек и испаряемого материала
• Нижний фланец имеет один вакуумный порт KFD-25 с двумя газовыми входами (требуется труба 1/4") и игольчатыми кранами
• Фланец герметично запечатан двойными силиконовыми уплотнительными кольцами и может обеспечить максимальное вакуумное давление 10E-2 Тор с помощью качественного механического насоса и 10E-5 Тор с помощью молекулярного насоса
• Цифровой вакуумный манометр с высокой точностью, устойчивый к коррозии, входит в стандартную комплектацию

Нагреватель и держатель образца

• Два коротковолновых ИК-лампы в качестве нагревательных элементов для быстрого нагрева.
• Расстояние между двумя нагревателями регулируется от 10 до 50 мм
• Нагреватели изготовлены из нержавеющей стали с водяной рубашкой для снижения теплового излучения и обеспечения быстрого охлаждения
• Круглый держатель для подложки диаметром 3 дюйма встроен в верхний нагреватель для загрузки подложки
• В комплекте имеется одна плита из алюминия нитрид (3"Диаметр x 0,5 мм Толщина), которая должна помещаться на обратной стороне подложки для равномерного нагрева
• Одна 3-дюймовая графитовая плита может быть использована альтернативно вместо плиты АIN
• Замена галогеновой лампы нагревателя доступна за дополнительную плату

Контроллер температуры

• Два цифровых контроллера температуры с высокой точностью, каждая с 30 программируемыми сегментами для независимого управления верхними и нижними нагревателями
• Каждый контроллер имеет функцию автотюнинга PID для защиты нагревателей от перегрева и функцию тревоги для предотвращения перегрева и выхода из строя термопары
• Установлен интерфейс ПК и программное обеспечение

Рабочая температура

• Максимальная температура для каждого нагревателя: ≤ 650℃
• Максимальная разница температур между двумя нагревателями: ≤ 300℃ в зависимости от расстояния между ними:

Скорость нагрева и охлаждения

• Нагрев: < 8℃/с (нагрев только одного нагревателя)
• Охлаждение: < 10℃/с (от 600 до 100℃) макс.

Термопара

• Две термопары типа K (открытые) установлены на верхних и нижних нагревателях соответственно

Рабочее напряжение

• 208 - 240VAC, однофазный, автоматический выключатель на 20А

Энергетические требования

• Общая мощность 2200W (1100W для каждого нагревателя)

Гарантия

• Ограниченная гарантия на один год с поддержкой на весь срок службы (расходные материалы, такие как кварцевые трубы и нагревательные лампы, не входят в гарантию)

Соответствие

• Сертификат CE