Снято с производства IF5687 (Снято с производства) 1100C Компактная печь для обработки атмосферы с контролем RTP OTF-1200X-4-RTP

Особенности

• Двухслойный стальной корпус с воздушным охлаждением поддерживает температуру поверхности печи ниже 60°C. 
• Высокопуристая алюмосиликатная волокнистая изоляция для максимальной экономии энергии.
• Разделенная крышка с защитой от случайного открытия, отключающая питание при открытии крышки во время процесса нагрева.

Рабочая температура

• Макс. температура нагрева:

1100℃ (< 10 мин)

1000℃, (<20 мин)

800℃, (<120 мин)

• Непрерывная рабочая температура: ≤600℃

Основные параметры

• Нагревательный элемент: термопара типа K
• Скорость потока циркулирующей воды: 0,5 м3/ч
• Стандартный диапазон измерения потока: 16-160 мл/мин
• Цифровой вакуумный манометр: 10^-4 до 1000 ТОРР

Энергия

208-240 В переменного тока, 12 кВт, 50/60 Гц

Контроль температуры

• Контроллер температуры FA-YD808P-AG включен.
• Пропорционально-интегрально-дифференциальный контроль (PID) и функция автоматической настройки
• 50 сегментов программирования с пошаговым нагревом, охлаждением и выдержкой
• Встроенная сигнализация перегрева и сигнализация неполадки термопары
• Точность контроля температуры +/- 1 ºC
• Стандартный порт связи DB9 для ПК

Кварцевая труба и держатель образца

• Размер кварцевой трубы: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 16.2" длина.
• Один держатель образцов из AlN диаметром 3" для отжига образцов диаметром до 3" включен.

(AlN обладает очень высокой теплопроводностью, что обеспечивает наилучшую температурную однородность в области образца. Держатель образца съемный для использования печи RTP в других целях.)

• Дополнительно: Подложка из графита диаметром 3'' (в качестве альтернативы пластине AIN)
• Дополнительно: Графитовый тигель (87 мм OD x 71 мм ID x 12 мм высота с крышкой) предназначен для держателя образцов диаметром 3"

(Тигель также может быть модифицирован для использования с печами RTE, CSS или HPCVD с графитовым тиглем, покрытым SiC.

Общие размеры

• Фланец (в закрытом состоянии): 1350 Дл * 330 Ш * 590 В мм
• Фланец (в открытом состоянии): 1350 Дл * 520 Ш * 740 В мм
• Размеры печи: φ180*190мм

Чистый вес

70 кг

Гарантия

• Ограниченная гарантия на один год с поддержкой на весь срок службы. 
• ВНИМАНИЕ: Любые повреждения, вызванные использованием коррозийных и кислотных газов, не покрываются ограниченной гарантией SAM на один год.

Сертификат

• Сертифицировано по стандартам CE
• Сертификация NRTL или CSA доступна за дополнительную плату.