Снято с производства ИФ5726 (Снято с производства) 950C CSS и RTP печь OTF-1200X-RTP-II-CSS-300

Особенности

• Вакумная камера с внутренним диаметром 20 дюймов, изготовленная из нержавеющей стали, достигающая уровня вакуума до 10^-5 торр с помощью турбонасоса.
• Две инфракрасные (IR) нагревательные плиты диаметром 12 дюймов, стратегически расположенные внутри камеры для оптимизации распределения тепла.
• Точное температурное устройство Eurotherm, обеспечивающее точность температуры в пределах ±0.1°C.
• Компьютер с сенсорным экраном, позволяющий всесторонний контроль всех параметров обработки.

Основные параметры

• Макс. температура нагрева: 950℃
• Макс. разница температуры между двумя обогревателями: ≤ 300℃
• Макс. скорость нагрева: 8℃/с
• Макс. скорость охлаждения: <20℃/с

Электрические параметры

208 - 240В переменного тока, три фазы, 50/60 Гц

60 кВт

Вакуумная камера

• Размер камеры: ID 500мм x H 460мм
• Две кварцевые окна диаметром 60 мм для легкого наблюдения.
• Одна герметичная скользящая заслонка встроена для блокировки источника испарения под высоким вакуумом.
• Точный антикоррозионный цифровой вакуумный манометр входит в стандартную комплектацию, обеспечивая точные измерения вакуума.
• Дополнительный вакуумный насос: 10-5 торр с помощью турбонасоса или 10-2 торр с помощью механического насоса.

Нагреватель и держатель образца

• Два инфракрасных обогревателя расположены сверху и снизу камеры с регулируемыми зазорами от 2 до 25 мм.
• Обогреватели изготовлены из нержавеющей стали с водяной холодной курткой для теплоизоляции.
• 12 "дюймовый круглый держатель вафель встроен в верхний обогреватель для удержания подложки.
• Графитовые пластины расположены поверх ИК-обогревателя для более равномерного нагрева.
• Верхний держатель образца вращается со скоростью от 1 до 10 об/мин.
• В комплект входит циркулирующий водяной охладитель 58 л/мин для охлаждения обогревателей.

Система управления

• Два цифровых температурных контроллера Eurotherm 3000 с 24 программируемыми сегментами обеспечивают независимое управление верхними и нижними нагревателями с точностью +/- 0.1ºC.
• Все операции, такие как температурные профили, давление вакуума, скорость вращения и подъем фланца, контролируются сенсорным компьютером через PLC.
• Компьютер может показывать температурные и вакуумные профили и запускать 10 предустановленных программ обработки.

Собственный вес

~500 кг

Габариты

Д 1450 x Ш 1250 x В 2100 мм

Гарантия

• Ограниченная гарантия на один год с поддержкой на весь срок службы.
• ВНИМАНИЕ: Любые повреждения, вызванные использованием коррозийных и кислых газов, не покрываются ограниченной гарантией SAM на один год.

Сертификат

• Сертификат CE
• Сертификаты NRTL или CSA доступны за дополнительную плату.