Снято с производства IF5727 (Снято с производства) 800C CSS и печь RTP RTP-II-5-R

Особенности

• Вакуумная камера ID 20 дюймов, изготовленная из нержавеющей стали, достигающая уровня вакуумирования до 10^-5 торр с использованием турбонасоса.
• Две инфракрасные (IR) нагревательные пластины 12 дюймов, стратегически размещенные внутри камеры для оптимизации распределения тепла.
• Точность контроллера температуры Eurotherm, обеспечивающая точность температуры в пределах ±0,1°C.
• Сенсорный компьютер, позволяющий осуществлять комплексное управление всеми параметрами процесса.

Основные параметры

• Макс. температура нагрева: 950℃
• Максимальная разница температуры между двумя нагревателями: ≤ 300℃
• Максимальная скорость нагрева: 8℃/с
• Максимальная скорость охлаждения: <20℃/с

Энергоснабжение

208 - 240VAC, три фазы, 50/60 Гц

60 кВт

Вакуумная камера

• Размер камеры: ID 500 мм x H 460 мм
• Два кварцевых окна диаметром 60 мм для удобства наблюдения.
• Встроенная герметичная заслонка для блокировки источника испарения при высоком вакууме
• Точный антикоррозийный цифровой вакуумный манометр поставляется в комплекте, обеспечивая точные измерения вакуума.
• Дополнительный вакуумный насос: 10^-5 торр с помощью турбонасоса или 10^-2 торр с помощью механического насоса

Нагреватель и держатель образца

• Два ИК-нагревателя расположены сверху и снизу камеры с регулируемыми зазорами от 2 до 25 мм.
• Нагреватели сделаны из нержавеющей стали с водяной охлаждающей рубашкой для тепловой изоляции.
• 12-дюймовый круглой формы держатель для wafer встроен в верхний нагреватель для удержания субстрата.
• Графитовые пластины располагаются на верхнем ИК-нагревателе для улучшения однородности нагрева.
• Верхний держатель образца вращается с регулируемой скоростью от 1 до 10 об/мин.
• В комплект включен циркуляционный водяной охладитель мощностью 58 л/мин для охлаждения нагревателей.

Систем управления

• Два цифровых контроллера температуры Eurotherm 3000 с 24 программируемыми сегментами обеспечивают независимое управление верхними и нижними нагревателями с точностью +/- 0,1ºC
• Все операции, такие как температурные профили, вакуумное давление, скорость вращения и подъем фланца, контролируются сенсорным компьютером через ПЛК.
• Компьютер может отображать температурные и вакуумные профили и запускать 10 предустановленных программ обработки.

Чистый вес

~500 кг

Размеры

Д 1450 x Ш 1250 x В 2100 мм

Гарантия

• Ограниченная однагодовая гарантия с пожизненной поддержкой. 
• ВНИМАНИЕ: Вред, причиненный использованием коррозионных и кислых газов, не покрывается Ограниченной Гарантией SAM на один год.

Сертификат

• Сертификат CE
• Сертификация NRTL или CSA доступна за дополнительную плату.