Снято с производства IF5731 (Снято с производства) Микроволновая плазменно-ускоренная CVD (MPCVD) 2” трубчатая печь GSL-1200X-50-MWPE

Особенности

• Микроволновая камера 1400W 2,45 ГГц
• Корпус из нержавеющей стали и алюминия для защиты от микроволнового излучения
• Нагревательный модуль внутри микроволновой камеры
• Прецизионное управление температурой с 30 программируемыми сегментами с точностью +/- 1°C
• Вакуумная отливка теплоизоляционного материала для максимальной экономии энергии.

Микроволновая печь

• Частота: 2,45 ГГц ±25 МГц
• Выходная мощность: 1400W
• Утечка микроволн: ≤ 3 мВт/см² на расстоянии 1 метра.

Нагревательный модуль и процессная труба

• Нагревательная спираль из Ni-Cr-Al с внутренним диаметром 80 мм установлена внутри волокнистого алюминосиликатного модуля.
• Нагревательная спираль расположена внутри микроволновой камеры
• Кварцевая труба 2" (внешний диаметр 50 x внутренний диаметр 44 x длина 600 мм) вставлена внутрь нагревательного модуля и микроволновой камеры для производства плазмы.

Энергия

2000W, 208-240VAC, однофазный, 50/60Гц

Фланцы и вакуум

• Включена одна пара вакуумных фланцев для герметизации кварцевой трубы
• Встроенный порт KF25 для вакуума и выходы для газа 1/4 с игольчатыми клапанами на фланце
• Включен один цифровой вакуумный манометр для управления вакуумом
• Максимальный уровень вакуума: 10^-2 торр с помощью сухого насоса и 10^-5 торр с помощью турбонасоса.
• Насос не входит в комплект.

Рабочая температура

• Макс. Температура: 1200℃ (<30мин); ≤1100℃ в постоянном режиме.
• Мин. Температура: 800℃
• Скорость нагрева: 1 ~20°C/мин

Регулятор температуры

• 30 программируемых сегментов для скорости нагрева, времени выдержки и охлаждения
• SCR управление температурой
• Защита от перегрева и разрыва термопары
• Точность контроля +/-1,0℃
• Термопара типа K вставлена через фланец

Вес нетто

30кг

Размеры

Микроволновая печь: 560(Д) x 410(Ш) x 340(В) мм

Полная глубина с трубой и фланцем: 780 мм

Регулятор: 600(Д) x 520(Ш) x 265(В) мм

Гарантия

• Ограниченная гарантия на один год с пожизненной поддержкой.
• Расходные материалы, включая тигли, нагревательные элементы и теплоизоляционные материалы, не входят в гарантию.
• ВНИМАНИЕ: Любые повреждения, вызванные использованием коррозийных и кислых газов, не покрываются Ограниченной гарантией SAM на один год.

Сертификат

• Сертифицировано по стандарту CE
• NRTL или CSA сертификация доступна за дополнительную плату.