Снято с производства IF5732 (Снят с производства) 1200C Микроволновая Плазменная Установленная CVD Ротационная Печь GSL-1200R-MWPE

Микроволновая печь

• Частота: 2,45 ГГц ± 25 МГц
• Выходная мощность: 1400 Вт
• Утечка микроволн: ≤ 3 мВт/см² на расстоянии 1 метра.

Нагревательный модуль и обработка трубки

• Нагревательный элемент из проволоки Ni-Cr-Al с внутренним диаметром 80 мм установлен внутри волокнистого модуля из алюмосиликата.
• Нагревательная спираль размещена внутри микроволновой камеры.
• Кварцевая трубка 2" (внешний диаметр 50 x внутренний диаметр 44 x длина 600 мм) вставлена внутрь нагревательного модуля и микроволновой камеры для производства плазмы.

Электропитание

2000 Вт, 208-240 В переменного тока, однофазный, 50/60 Гц

Фланцы и вакуум

• Включен один комплект вакуумных фланцев для герметизации кварцевой трубки.
• Внутри фланца встроены вакуумный порт KF25 и газовые вход и выход с игольчатыми клапанами.
• Включен один цифровой вакуумный манометр для контроля вакуума.
• Максимальный уровень вакуума: 10^-2 торр с помощью сухого насоса и 10^-5 торр с помощью турбонасоса.
• Насос не включен в комплект.

Инлайн-вращатель и скорость вращения

• Включены два инлайн-вращательных газовых соединения, подключенных к фланцам, что позволяет газопроводу оставаться на месте во время вращения трубки.
• Скорость вращения: вращение трубки осуществляется с помощью постоянного двигателя с диапазоном скорости от 1 до 5 об/мин.
• Требуется газовая трубка 1/4 дюйма для подключения инлайн-вращательных газовых соединений к газовому баллону.
• Нажмите на изображение слева, чтобы увидеть подробные характеристики.

Рабочая температура

• Макс. температура: 1200℃ (<30мин); ≤1100℃ непрерывно.
• Мин. температура: 800℃
• Скорость нагрева: 1 ~ 20°С/мин

Контроллер температуры

• 30 сегментов, программируемых для скорости нагрева, поддерживаемой температуры и времени, и скорости охлаждения.
• Контроль температуры с использованием SCR.
• Защита от перегрева и обрыва термопары.
• Точность контроля +/- 1,0℃.
• Термопара типа K вставлена через фланец.

Вес нетто

30 кг

Размеры

Микроволновая печь: 560(Д) x 410(Ш) x 340(В) мм

Общая глубина с трубкой и фланцем: 780 мм

Контроллер: 600(Д) x 520(Ш) x 265(В) мм

Гарантия

• Ограниченная гарантия на один год с пожизненной поддержкой.
• Расходные материалы, включая тигли, нагревательные элементы и теплоизоляционные материалы, не покрываются гарантией.
• ВНИМАНИЕ: Любые повреждения, вызванные использованием коррозийных и кислых газов, не покрываются однолетней ограниченной гарантией SAM.

Сертификат

• Сертифицировано CE
• Сертификация NRTL или CSA доступна за дополнительную плату.