SI11491 Емкость для очистки плавленого кварца с корзиной для вафель

Резервуар для очистки плавленого кварца с корзиной для вафель Описание

В резервуаре для очистки плавленым кварцем с корзиной для пластин используется высокочистый плавленый кварц, в основном SiO₂, который ценится за свою химическую инертность и низкое тепловое расширение. Эта конструкция поддерживает чувствительную к загрязнениям очистку пластин, надежно удерживая точно обработанную корзину, что позволяет сохранить целостность подложки во время агрессивных процессов очистки. Свойства материала напрямую способствуют снижению количества дефектов при производстве полупроводников.

Корзины для очистки пластин из кварцевого стекла представляют собой перфорированные контейнеры или резервуары, изготовленные из высокочистого кварцевого стекла со специфической структурой решетки. Они предназначены для надежного удержания нескольких кремниевых пластин во время высокотемпературных процессов очистки с использованием высокоагрессивных химических растворов, таких как плавиковая кислота (HF), аква-регия, SC-1, SC-2 или высокотемпературная деионизированная вода.

Оптимизированная структура обеспечивает полную экспозицию и равномерный поток чистящих химикатов вокруг каждой пластины, обеспечивая последовательную, тщательную и надежную очистку при сохранении превосходной термической и химической стабильности.

Характеристики резервуара для очистки из плавленого кварца с корзиной для вафель

*Приведенная выше информация о продукте основана на теоретических данных и предназначена только для справки. Фактические характеристики могут отличаться.

Емкость для очистки плавленого кварца с корзиной для подложек Применение

1.Электроника - обработка полупроводников
- Используется в качестве компонента очистки в системах обработки пластин для достижения минимального загрязнения частицами за счет использования химической инертности плавленого кварца.
- Применяется в качестве встроенного модуля очистки для поддержания качества подложек при агрессивной химической обработке.

2.лабораторное оборудование
- Служит в качестве контролируемой камеры очистки в исследовательских установках, где чистота материала является критически важной для предотвращения загрязнения.
- Часто используется для процессов химической очистки, где нереактивная природа плавленого кварца сохраняет целостность образца.

Емкость для очистки плавленого кварца с корзиной для вафель

Емкость для очистки плавленого кварца с корзиной для вафель надежно упакована в специально разработанный ящик с антистатической прокладкой и влагостойкой инертной пленкой. Система упаковки включает защитные вставки из пеноматериала для смягчения механического воздействия и теплового стресса во время транспортировки и хранения. Инструкции по хранению в контролируемой среде сохраняют целостность материала. Возможны нестандартные варианты маркировки и амортизации для удовлетворения специфических лабораторных требований.

Дополнительная информация

Плавленый кварц, состоящий преимущественно из диоксида кремния (SiO₂), демонстрирует исключительную химическую инертность и термическую стабильность, что делает его предпочтительным материалом для прецизионной очистки и обработки полупроводников. Его низкий коэффициент теплового расширения способствует повышению стабильности процесса в средах с частыми колебаниями температуры.

На производстве полупроводников и в лабораториях жизненно важно поддерживать строгий контроль загрязнения. Свойства материала плавленого кварца в сочетании с прецизионной инженерной практикой позволяют использовать его в критически важных областях очистки, где даже минимальное вмешательство твердых частиц может поставить под угрозу производительность продукта.