ST11168 Мишень для планарного напыления оксида алюминия, мишень Al2O3

Мишень для планарного напыления оксида алюминия, Al2O3 Описание мишени

Планарная мишень для распыления оксида алюминия, Al2O3 Target, состоит из высокочистого глинозема (Al2O3), предназначенного для распыления. Его планарная конструкция обеспечивает совместимость со стандартными системами осаждения, поддерживая равномерное расстояние между мишенью и подложкой. Такая геометрия минимизирует краевые эффекты при напылении, способствуя равномерному росту пленки и снижая загрязнение частицами. Строгий контроль состава мишени обеспечивает стабильное распыление и воспроизводимые свойства тонких пленок, что благоприятно для процессов производства полупроводников и оптических компонентов.

Мишень для планарного напыления оксида алюминия, Al2O3 Характеристики мишени

*Приведенная выше информация о продукте основана на теоретических данных и предназначена только для справки. Фактические характеристики могут отличаться.

Мишень для планарного напыления оксида алюминия, применение мишени Al2O3

Электроника
- Используется в качестве мишени для осаждения в системах напыления для получения однородных тонких пленок для полупроводниковых устройств за счет использования высокочистого глиноземного состава мишени.
- Применяется в качестве источника покрытия при производстве оптических дисплеев для контроля толщины и качества пленки, обеспечивая минимальное количество дефектов в виде частиц.

Промышленность
- Используется в качестве мишени для напыления при изготовлении защитных покрытий для плоскопанельных устройств благодаря своей планарной геометрии для равномерного распределения материала.
- Интегрируется в производство диэлектрических слоев в сенсорных устройствах для достижения стабильной и воспроизводимой среды осаждения.

Мишень для планарного напыления оксида алюминия, упаковка мишени Al2O3

Мишень надежно упакована в антистатические контейнеры с пенопластовой прокладкой и подушкой из инертного газа для предотвращения повреждений и загрязнений. Она хранится при температуре окружающей среды в чистом, сухом помещении для сохранения целостности поверхности. Возможны индивидуальные решения по упаковке, включая вакуумные пакеты и коробки с отделениями, в соответствии со специфическими требованиями к обработке и условиями транспортировки.

Дополнительная информация

Напыление - это широко распространенный метод физического осаждения из паровой фазы, в котором мишени, такие как оксид алюминия, необходимы для создания тонких однородных пленок. Плоская геометрия мишени позволяет эффективно распределять энергию при напылении, что очень важно для высокоточных приложений в производстве полупроводников и оптических устройств. Поддержание высокой чистоты и контролируемых свойств поверхности является обязательным условием воспроизводимости процесса.

Оксид алюминия, также известный как глинозем, обладает превосходной химической инертностью и механической прочностью, что делает его предпочтительным материалом для различных керамических применений. Знание его тепловых и диэлектрических свойств помогает инженерам оптимизировать процессы осаждения и обеспечить соответствие характеристик устройств строгим промышленным стандартам.

Кейс

Линза литографической машины ASML

Система антибликового покрытия 193 нм

Подложка: Синтетический кварц | Температура осаждения: 150°C

Проверка эффективности:

Односторонняя потеря отражательной способности < 0,08%

Искажение волнового фронта < λ/40 при 193 нм

Технологический план: Осаждение с помощью ионного пучка (IAD) для оптимизации плотности