ST11178 Ротационная мишень железо-кобальт-бор, мишень CoFeB

Железо-кобальт-борная ротационная мишень, CoFeB Target Описание

Железо-кобальт-борная ротационная мишень, CoFeB Target - это мишень из сплава, используемая в системах напыления для осаждения тонких пленок. Контролируемая смесь железа, кобальта и бора помогает достичь стабильных характеристик эрозии и осаждения. Поворотный механизм способствует равномерному износу мишени и помогает поддерживать стабильные условия плазмы во время напыления. Такая конструкция улучшает однородность пленки и повторяемость процесса в полупроводниковой промышленности и при нанесении покрытий.

Ротационная мишень железо-кобальт-бор, характеристики мишени CoFeB

*Приведенная выше информация о продукте основана на теоретических данных и предназначена только для справки. Фактические характеристики могут отличаться.

Железо-кобальт-бор вращающаяся мишень, CoFeB мишень Применение

1.производство электроники
- Используется в качестве источника напыления при производстве полупроводников для достижения равномерного осаждения пленки за счет контролируемого состава сплава.
- Применяется при формировании слоев магнитных накопителей для достижения стабильных магнитных свойств за счет использования индивидуально подобранной микроструктуры.

2.дисплейные технологии
- Служит в качестве мишени для осаждения при производстве дисплейных панелей для обеспечения равномерной толщины пленки на активных участках, решая проблемы неравномерной яркости с равномерными характеристиками эрозии.
- Часто используется для покрытия прозрачных электродов, где равномерные свойства пленки снижают резистивные потери.

3.Промышленные процессы нанесения покрытий
- Используется при производстве износостойких покрытий на деталях для улучшения характеристик поверхности за счет постоянной скорости напыления.
- Обеспечивает решения для нанесения покрытий на большие площади, улучшая повторяемость процесса благодаря своей роторной конструкции.

Ротационная мишень железо-кобальт-бор, упаковка мишени CoFeB

Мишень упакована в антистатический контейнер с подушкой для уменьшения механических ударов и загрязнений во время транспортировки. Она запечатана во влагостойкую упаковку и снабжена пенопластовыми вставками для сохранения стабильности. Рекомендуется надлежащее хранение в сухом помещении с контролируемой температурой. По запросу возможны индивидуальные варианты упаковки, включая дополнительную маркировку и разделение на отсеки.

Дополнительная информация

Понимание металлургических характеристик сплавов на основе железа очень важно для оценки их эффективности при напылении. Включение кобальта и бора изменяет магнитные и механические свойства сплава, что очень важно в процессах осаждения тонких пленок. Анализ материала с помощью таких методов, как РЭМ и спектроскопия, помогает подтвердить эти свойства.

В более широком контексте прогресс в технологии напыления позволил повысить равномерность осаждения и скорость обработки, необходимые для современных электронных и оптических устройств. Детальное знание свойств материалов и методов обработки способствует постоянным инновациям в области нанесения покрытий и полупроводниковой промышленности.