ST11179 Кобальт-железо-тантал-борная планарная мишень, CoFeTaB мишень

Кобальт-железо-тантал-борная планарная мишень, CoFeTaB Target Описание

В мишени Cobalt Iron Tantalum Boron Planar Target, CoFeTaB Target используется однородная матрица из сплава Co-Fe-Ta-B, разработанная для применения в напылении. Планарная конструкция способствует равномерной эрозии мишени, обеспечивая равномерное осаждение пленки в системах обработки полупроводников. Настраиваемые размеры обеспечивают совместимость с различным оборудованием, а контролируемый состав сплава сводит к минимуму отравление мишени и поддерживает стабильную скорость осаждения, необходимую для прецизионного изготовления тонких пленок.

Кобальт-железо-тантал-борная планарная мишень, характеристики мишени CoFeTaB

*Приведенная выше информация о продукте основана на теоретических данных и предназначена только для справки. Фактические характеристики могут отличаться.

Кобальт-железо-тантал-борон планарная мишень, CoFeTaB мишень Применение

1.Электроника
- Используется в качестве источника распыления при осаждении полупроводниковых тонких пленок для достижения равномерного покрытия за счет использования планарной конструкции мишени.

2.Промышленность
- Применяется в качестве мишени для нанесения покрытий при производстве плоских дисплеев для достижения постоянных свойств пленки благодаря контролируемому составу сплава.

3.Автомобильная промышленность
- Используется в качестве мишени для напыления при изготовлении датчиков для повышения однородности пленки за счет использования настраиваемых размеров.

Кобальт-железо-тантал-борная планарная мишень, упаковка мишени CoFeTaB

Мишень CoFeTaB упакована в антистатическую, мягкую упаковку для минимизации механических повреждений и загрязнений. Каждая мишень запечатана для защиты от воздействия влаги и твердых частиц во время транспортировки и хранения. Упаковка обеспечивает сохранение целостности материала в условиях температурного контроля. Для удовлетворения специфических отраслевых требований можно дополнительно использовать вакуумную герметизацию, специализированную маркировку и индивидуальное разделение на отсеки.

Дополнительная информация

Мишени для напыления являются критически важными компонентами при осаждении тонких пленок, где точный состав сплава напрямую влияет на однородность пленки и производительность устройства. Использование кобальтовых сплавов в материаловедении сыграло важную роль в развитии процессов для полупроводниковых и дисплейных технологий.

Понимание взаимосвязи контроля состава и геометрии мишени способствует улучшению воспроизводимости процесса и эффективности осаждения. Постоянное совершенствование методов контроля качества и производства еще больше улучшает эксплуатационные характеристики этих мишеней, способствуя улучшению результатов в условиях высокоточного производства.