ST11214 Танталовая планарная мишень, мишень Ta

Танталовая планарная мишень, описание мишени Ta

Танталовая планарная мишень, Ta Target производится из высокочистого тантала с тщательно контролируемой планарной поверхностью, оптимизированной для напыления. Индивидуальные размеры изделия обеспечивают совместимость со стандартными системами осаждения, а контролируемая микроструктура сводит к минимуму загрязнение частицами в процессе нанесения покрытия, что способствует эффективному формированию слоев при производстве полупроводников и в других промышленных областях, где равномерное осаждение пленки имеет решающее значение.

Танталовая планарная мишень, Ta Характеристики мишени

*Приведенная выше информация о продукте основана на теоретических данных и предназначена только для справки. Фактические характеристики могут отличаться.

Танталовая планарная мишень, применение мишени Ta

1.Электроника
- Используется в качестве мишени для напыления в системах осаждения полупроводников для получения однородных тонких слоев пленки за счет использования контролируемой микроструктуры материала. Такой подход сводит к минимуму дефекты поверхности и повышает однородность покрытия.

2.Промышленные покрытия
- Применяется в качестве основной мишени в системах физического осаждения из паровой фазы для получения прочных декоративных или функциональных покрытий. Высокая чистота и стабильная температура плавления способствуют равномерному формированию пленки, что очень важно для работы в промышленных условиях.

Танталовая планарная мишень, упаковка мишени Ta

Танталовая планарная мишень упакована в антистатические контейнеры специальной конструкции с пенопластовой прокладкой для уменьшения механических ударов и рисков загрязнения. Каждая мишень запечатана во влагонепроницаемый пакет с влагопоглотителями для контроля влажности. Возможны варианты индивидуальной упаковки, включая пенопластовые вкладыши с отделениями и коробки с этикетками. Для оптимальной сохранности храните мишени в защищенном от пыли помещении с регулируемой температурой.

Дополнительная информация

Тантал - тугоплавкий металл, известный своей коррозионной стойкостью и высокой температурой плавления. Его уникальные свойства делают его важнейшим материалом для напыления мишеней в процессах осаждения тонких пленок. Понимание взаимосвязи между контролем микроструктуры и чистотой материала необходимо для достижения равномерного роста пленки в полупроводниковых и промышленных приложениях.

Достижения в области технологий обработки материалов продолжают улучшать характеристики мишеней для напыления. Исследователи и инженеры сосредоточены на оптимизации таких параметров, как размер зерна и шероховатость поверхности, чтобы повысить эффективность осаждения и качество пленки. Эти усилия способствуют расширению сферы применения цветных металлов, где точность характеристик материала имеет первостепенное значение.