ST11216 Планарная мишень из силицида тантала, мишень TaSi2

Описание планарной мишени из силицида тантала, TaSi2 Target

Планарная мишень из силицида тантала, мишень TaSi2, изготавливается из соединения TaSi2 с помощью контролируемого процесса планаризации. Мишень имеет однородную микроструктуру с настраиваемыми размерами, что обеспечивает воспроизводимое осаждение тонких пленок. Такое постоянство структуры и состава зерен играет ключевую роль в достижении равномерной толщины пленки и высокой воспроизводимости осаждения при обработке полупроводников и в других передовых областях применения покрытий.

Планарная мишень из силицида тантала, характеристики мишени TaSi2

Приведенная выше информация о продукте основана на теоретических данных и предназначена только для справки. Фактические характеристики могут отличаться.

Планарная мишень из силицида тантала, мишень TaSi2 Области применения

1.электроника и полупроводники
- Используется в качестве источника напыления в системах осаждения полупроводников для получения однородных слоев пленки за счет использования контролируемой микроструктуры. Такое применение минимизирует загрязнение частицами и улучшает однородность слоя.

2.Промышленная обработка
- Применяется в качестве мишени в системах нанесения покрытий для повышения износостойкости поверхности промышленных компонентов. Индивидуальный состав и планарная структура зерен обеспечивают эффективную передачу энергии при напылении, снижая вариабельность процесса.

3.исследования и разработки
- Служит образцом в передовых исследованиях тонких пленок для анализа поведения осаждения. Настраиваемые размеры позволяют точно оптимизировать экспериментальные установки, что облегчает детальную оценку характеристик материала.

Планарная мишень из силицида тантала, упаковка мишени TaSi2

Мишень упакована в защитный антистатический контейнер с пенопластовой прокладкой для предотвращения механических повреждений при транспортировке. Она запечатана во влагонепроницаемые пакеты и помещена в жесткую внешнюю коробку, чтобы минимизировать загрязнение. Рекомендуется хранить в сухом прохладном месте. По запросу возможны индивидуальные варианты упаковки, например, контейнеры с вакуумным уплотнением или климат-контролем.

Дополнительная информация

Разработка мишеней для напыления, таких как планарная мишень из силицида тантала, мишень TaSi2, предполагает всестороннее понимание свойств материала и методов обработки. Контроль над такими параметрами, как структура и состав зерна, напрямую влияет на эффективность осаждения и однородность пленки в промышленных и исследовательских приложениях.

Принципы материаловедения лежат в основе производства и использования мишеней TaSi2. Детальные исследования тепловых и электрических свойств, а также микроструктурной целостности направляют прогресс в области осаждения тонких пленок. Это понимание помогает постоянно совершенствовать процессы изготовления мишеней, обеспечивая их совместимость с требовательными приложениями для производства полупроводников и покрытий.