ST11217 Планарная мишень из силицида титана, мишень TiSi2

Силицид титана планарная мишень, TiSi2 мишень Описание

Планарная мишень из силицида титана, мишень TiSi2 разработана для распыления при осаждении тонких пленок. Ее планарная конфигурация способствует равномерному вымыванию материала и постоянной толщине пленки, что делает ее подходящей для интеграции в стандартное оборудование для обработки полупроводников. Контролируемый состав мишени снижает образование частиц и улучшает адгезионные свойства осаждаемых пленок, тем самым поддерживая прецизионные процессы осаждения материалов.

Планарная мишень из силицида титана, TiSi2 Характеристики мишени

*Приведенная выше информация о продукте основана на теоретических данных и предназначена только для справки. Фактические характеристики могут отличаться.

Планарная мишень из силицида титана, мишень TiSi2 Области применения

1.Электроника
- Используется в качестве источника напыления в полупроводниковых устройствах для достижения равномерного осаждения тонкой пленки за счет использования планарной структуры мишени.
- Применяется в качестве контактного слоя в интегральных схемах для достижения стабильных электрических характеристик за счет минимизации микроструктурных вариаций.

2.Промышленный
- Используется в качестве материала покрытия при изготовлении датчиков для поддержания контролируемой толщины пленки за счет равномерной эрозии распыления.
- Используется в качестве источника осаждения в процессах обработки поверхности для обеспечения надежных свойств пленки при изменяющихся условиях плазмы.

3.Оптоэлектроника
- Используется в качестве электродного материала в компонентах дисплеев для обеспечения стабильной проводимости пленки за счет равномерного профиля эрозии мишени.

Планарная мишень из силицида титана, упаковка мишени TiSi2

Силицид титана, планарная мишень, мишень TiSi2 упаковывается в герметичные антистатические пакеты, помещенные в жесткие пенопластовые контейнеры для защиты от механических ударов и загрязнений. Упаковка включает в себя влагозащитные барьеры для предотвращения окисления поверхности во время транспортировки и хранения. Возможны нестандартные варианты, включая вакуумную герметизацию и маркировку контейнеров. Рекомендуется хранить в чистом, сухом, контролируемом по температуре месте.

Дополнительная информация

Силицид титана - это интерметаллическое соединение, широко используемое в производстве полупроводников благодаря низкому удельному сопротивлению и совместимости с кремниевыми подложками. Его интеграция в мишени для напыления основана на его способности формировать однородные, адгезивные тонкие пленки с контролируемым составом, что повышает эффективность осаждения в различных процессах производства устройств.

Передовые методы определения характеристик поверхности, такие как сканирующая электронная микроскопия и рентгеновская дифракция, имеют решающее значение для оценки микроструктуры материала. Эти аналитические методы не только подтверждают качество продукта, но и способствуют более эффективной оптимизации процессов осаждения тонких пленок.