ST11461 Медно-никель-титановая планарная мишень, CuNiTi Target

Медно-никель-титановая планарная мишень, CuNiTi Target Описание

Медно-никель-титановая планарная мишень, CuNiTi Target изготовлена из сплава меди, никеля и титана со строго контролируемым составом. Ее планарная геометрия поддерживает равномерную эрозию во время напыления, способствуя равномерному осаждению тонких пленок. Целевая рецептура сплава минимизирует образование твердых частиц, способствуя улучшению адгезии пленки и снижению загрязнения инструмента. Такие характеристики очень важны для производства полупроводников и микроэлектроники, где требуется стабильность результатов осаждения.

Медно-никель-титановая планарная мишень, применение CuNiTi Target

Электроника и производство полупроводников
- Используется в качестве мишени для напыления в системах осаждения тонких пленок для достижения равномерного покрытия за счет контролируемого состава сплава. Такой подход решает проблемы однородности пленки и повышает производительность устройств.

Промышленные процессы нанесения покрытий
- Применяется в качестве мишени в оборудовании для нанесения покрытий для улучшения адгезии пленки благодаря стабильным свойствам сплава. Это решение сводит к минимуму повторные работы из-за нестабильного качества пленки и способствует эффективному производству.

Исследования и разработки
- Используется в установках для анализа материалов с целью проверки поведения напыления и микроструктуры пленки. Использование предсказуемого профиля эрозии помогает в оптимизации процесса и калибровке оборудования.

Медно-никель-титановая планарная мишень, упаковка мишени CuNiTi

Мишень поставляется в герметичном антистатическом контейнере с пенопластовой прокладкой для минимизации механических ударов и загрязнений. Упаковка включает в себя влагозащитные и коррозионностойкие вкладыши. Для сохранения целостности материала рекомендуется хранить мишень в сухом помещении с контролируемой температурой. По запросу возможны варианты индивидуальной маркировки и разделения на отсеки для соответствия конкретным протоколам обращения и хранения.

Дополнительная информация

Сплавы на основе меди с добавлением никеля и титана известны своими сбалансированными термическими и механическими свойствами. Синергия высокой электропроводности меди, коррозионной стойкости никеля и прочности титана создает сплав, благоприятный для применения при осаждении пленок. Такие композиции являются неотъемлемой частью процессов, где важна равномерная эрозия и минимальное образование частиц.

Для оценки микроструктурной целостности этих мишеней применяются передовые методы определения характеристик, включая рентгеновскую дифракцию и электронную микроскопию. Такой научный подход обеспечивает стабильную работу мишеней для напыления в различных промышленных областях, поддерживая прогресс в производстве полупроводниковых и микроэлектронных устройств.