{{flagHref}}
Продукция
  • Продукция
  • Категории
  • Блог
  • Подкаст
  • Приложение
  • Документ
|
|
/ {{languageFlag}}
Выберите язык
Stanford Advanced Materials {{item.label}}
Stanford Advanced Materials
Выберите язык
Stanford Advanced Materials {{item.label}}
Пожалуйста, начните говорить

ST11471 Планарная мишень из нитрида тантала, мишень TaN

Каталог нет. ST11471
Состав TaN
Форма Прямоугольная
Форма Цель
Чистота ≥98%

Планарная мишень из нитрида тантала, TaN Target - это мишень для напыления, изготовленная с помощью контролируемых процессов реактивного напыления, обеспечивающих определенный химический состав. Stanford Advanced Materials (SAM) использует поточную сканирующую электронную микроскопию для контроля морфологии поверхности и однородности микроструктуры. Эти меры помогают поддерживать точную стехиометрию для улучшения характеристик осаждения тонких пленок в контролируемых условиях.

Запрос
Добавить в сравнение
Описание
Технические характеристики
Отзывы

FAQ

Какие технологические аспекты важны при использовании мишени для напыления TaN для осаждения тонких пленок?

При использовании мишени TaN для поддержания однородности пленки необходимы постоянная подача мощности и охлаждение подложки. Контроль параметров плазмы обеспечивает сохранение стехиометрии во время осаждения. Регулировка потока реактивного газа помогает управлять адгезией пленки и минимизировать загрязнение.

Как планарная конструкция мишени TaN влияет на эффективность напыления?

Плоскостная конструкция способствует равномерной эрозии во время напыления, что приводит к равномерному распределению осажденной пленки. Такая однородность структуры минимизирует выброс частиц и уменьшает потери мишени, тем самым улучшая воспроизводимость характеристик тонкой пленки.

Какие меры предосторожности следует соблюдать при установке и обращении с мишенью для напыления TaN?

При установке необходимо избегать механических ударов и загрязнения поверхности. Использование антистатических инструментов и соблюдение чистоты помещения позволит уменьшить загрязнение твердыми частицами и сохранить целостность поверхности мишени.

ЗАПРОСИТЬ ЦЕНУ

Отправьте нам запрос сегодня, чтобы узнать больше и получить актуальные цены. Спасибо!

* Ваше имя
* Ваш e-mail
* Название продукта
* Ваш телефон
* Страна

Россия

    Чистота

    99.9%

    • 99.9%
    • 99.5%
    • 99.99%
    • 99.999%
    • Other
    Диаметр

    2''

    • 2''
    • 3''
    • 4''
    • 5''
    • 6''
    • Другое
    • Other
    Толщина

    0.25''

    • 0.25''
    • 0.125''
    • Все
    • Other
    Связывание

    Да

    • Да
    • Нет
    • Other
    Комментарии
    Я хотел бы подписаться на рассылку, чтобы получать новости от Stanford Advanced Materials.
    Приложите чертежи:

    Храните файлы здесь или

    * Проверочный код
    Принимаемые форматы файлов: PDF, PNG, JPG, JPEG. Можно отправить несколько файлов одновременно. Размер каждого файла не должен превышать 2 МБ.
    Оставьте сообщение
    Оставьте сообщение
    * Ваше имя:
    * Ваш e-mail:
    * Название продукта:
    * Ваш телефон:
    * Комментарии: