|
Структура печи
|
- Двухслойный стальной корпус с воздушным охлаждением
- Утепление высокопуросной алюминиевой волокной
- Конструкция снимаемой крышки
|
|
Энергия
|
5 кВт, 208-240 В переменного тока, однофазный, 50/60 Гц
|
|
Рабочая температура
|
- Макс. температура: 1200℃ (1 ч); 1100℃ (непрерывно)
- Скорость нагрева: ≤ 20℃/мин
- Точность температуры: ±1.0℃
|
|
Длина зоны нагрева
|
- Три зоны: (880 мм, всего 35 дюймов)
Зона 1: 220 мм (8,6 дюйма)
Зона 2: 440 мм (17,3 дюйма)
Зона 3: 220 мм (8,6 дюйма)
|
|
Зона постоянной температуры
|
- Если три зоны установлены на одну и ту же температуру, зона постоянной температуры имеет длину 25 дюймов (625 мм) с различием температуры ±1°C
- Если используется только одна зона (центральная зона), зона постоянной температуры составляет 4,3 дюйма (110 мм) с различием температуры ±1°C
|
|
Нар heating элементы
|
Сплав Fe-Cr-Al с добавлением Mo
|
|
Контроллер температуры
|
- Три точных контроллера температуры для отдельного контроля трех зон
- PID автоматическое управление с 30 программируемыми сегментами для точного контроля скорости нагрева, скорости охлаждения и времени выдержки
- Защита от перегрева и повреждения термопары
- Защита от перегрева и сигнализация позволяют работать без наблюдателей
- ± 1℃ точность температуры
- Порт RS485 для связи
|
|
Датчик и дисплей вакуума
|
- Коррозионно-устойчивая диафрагма емкостного датчика с керамическим покрытием, специально разработанная для измерения вакуума в присутствии коррозионных газов
- Датчик установлен на вакуумном фланце трубной печи и обеспечивает широкий диапазон измерений (10^-5 ~ 1000 торр)
|
|
Кварцевая трубка и уплотнительные фланцы
|
- Включает кварцевую трубку с наружным диаметром 80 мм x внутренним диаметром 72 мм x 1400 мм.
- Включены вакуумные фланцы с клапанами и манометрами.
|
|
Скользящий фланец с держателем образца
|
Доступен слайд для передачи образца (вручную) за дополнительную плату в 1900 долларов США
|
|
Вакуумные уплотнительные фланцы
|
- Два нержавеющих стальных фланца с вакуумными манометрами и клапанами включены.
- Минимальное вакуумное давление, достигаемое механическим насосом, составляет 5,5 м торр. (5,5x10^-3 торр). Давление может достигать 10^-5 торр при использовании механического + молекулярного насоса.
- Скорость утечки менее 5 м торр / мин, и стабильное вакуумное давление после 24 часов составляет менее 2 торр.
|
|
Мониторинг кислорода
|
Датчик кислорода может использоваться для мониторинга уровня кислорода газов, используемых в системах CVD, для предотвращения или снижения окисления.
|
|
Вакуумный насос
|
120 л/мин ротационный лопастной вакуумный насос включен с максимальным вакуумным давлением 10^-2 торр. Включена нержавеющая стальная шланговая трубка для подключения к трубной печи.
|
|
Метр потока газа и манометр
|
- Три газовых расходомера (точность 4% от полного диапазона) установлены внутри мобильного корпуса для мониторинга расхода газов (всего три разных газа).
Компактный расходомер с прямым считыванием, 10-100 см³/мин.
Компактный расходомер с прямым считыванием, 16-160 см³/мин.
Компактный расходомер с прямым считыванием, 25-250 см³/мин.
- Четыре манометра установлены внутри мобильной тележки, что позволяет контролировать давление трех типов газов, а также давление в резервуаре смешивания.
|
|
Вес
|
850 фунтов
|
|
Клапаны
|
Четыре нержавеющих стальных клапана установлены на боковой панели мобильной тележки для управления смешиванием трех входящих газов отдельно
|
|
Размеры
|
- Печь: 1100 x 450 x 670 мм
- Нижний мобильный корпус: 600 x 600 x 597 мм
|
|
Гарантия
|
Ограниченная гарантия производителя на один год.
|
|
Предупреждения и заметки
|
- Для получения точной температуры внутри трубной печи вам необходимо откалибровать температуру самостоятельно.
- Трубные печи с алюминиевыми трубами предназначены для работы под вакуумом и низким давлением < 0,2 бара / 3 psi / 0,02 МПа
- Скорость потока газов должна быть ограничена < 200 SCCM (или 200 мл/мин), чтобы уменьшить тепловые удары на трубу
- Внимание: на газовом цилиндре необходимо установить двухступенчатый регулятор давления, чтобы ограничить давление ниже 3 PSI для безопасной работы.
- Определение предела вакуума для всех кварцевых трубных печей: * Вакуумные давления могут безопасно использоваться только до 1000°C
|
|
Сертификат
|
- Сертифицировано CE
- Сертификация NRTL или CSA доступна за дополнительную плату.
|
Пишите для нас
Конвертеры и калькуляторы
