1200C Трубная Печь с Антикоррозийным Комплектом OTF-1200X-F3LV Описание
1200C Трубная Печь с Антикоррозийным Комплектом OTF-1200X-F3LV представляет собой разбираемую одно-зонную трубную печь с кварцевой трубой диаметром 80 мм, механическим вакуумным насосом и трехканальной системой газового потока. Она может достигать максимального вакуума до 10^-2 торр и смешивать 1-3 типа газов для процессов химического осаждения из паровой фазы (CVD) или диффузии. Эта печная система оснащена набором газового оборудования из PTFE, обеспечивающим превосходные антикоррозийные свойства, превосходящие таковые у нержавеющей стали. Система включает антикоррозийный датчик, вакуумный насос с холодным ловушкой и систему смешивания газа и фланцев из PTFE, обеспечивающую долговечность и точность в работе с агрессивными газами.
1200C Трубная Печь с Антикоррозийным Комплектом OTF-1200X-F3LV Спецификации
Серия OTF-1200X Трубная Печь
|
Структура печи
|
- Двойной стальной корпус с воздушным охлаждением: Обеспечивает повышенную прочность и безопасность
- Встроенный термостат: Автоматически активирует систему охлаждения при превышении температуры корпуса 55°C
- Антикоррозийный датчик: Обеспечивает точные измерения вакуума, даже в присутствии агрессивных газов
- Вакуумный насос с холодным ловушкой: Защищает вакуумный насос, предотвращая попадание агрессивных газов
- Смеситель газа и фланец из PTFE: Минимизирует контакт агрессивных газов с уязвимыми поверхностями
|
|
Нагревательные элементы
|
Сплав Fe-Cr-Al с добавлением Mo
|
|
Мощность
|
2,5 кВт, 208-240 В, однофазный, 50/60 Гц
|
|
Рабочая температура
|
- Макс. температура: 1200℃ (1 ч); 1100℃ (непрерывно)
- Скорость нагрева: ≤20℃/мин
- Точность температуры: ±1,0℃
|
|
Длина нагревательной зоны
|
400 мм
|
|
Контроллер температуры
|
- PID автоматический контроль через SCR (кремниевый управляемый выпрямитель) с фазовым управлением, ограничительный резистор.
- 30 программируемых сегментов для точного контроля скорости нагрева, скорости охлаждения и времени выдержки.
- Встроенная функция автонастройки PID с защитой от перегрева и обрыва термопары.
- Защита от превышения температуры и сигнализация позволяют работать без присутствия обслуживающего персонала.
- ±1 ºC точность температуры.
- Порт RS485 для связи.
*Расширенное управление температурой (по желанию)
|
|
Размеры и материалы труб
|
Кварцевая труба
Внешний диаметр: 80 мм x внутренний диаметр: 75 мм x длина: 1000 мм
|
|
Цифровой вакуумный датчик
|
- Коррозионно-стойкий датчик емкостного типа с керамическим покрытием, специально разработанный для измерения вакуума в присутствии коррозийных газов.
- Датчик установлен на вакуумном фланце (с правой стороны) трубной печи и обеспечивает широкий диапазон измерений (10^-5 ~ 1000 торр).
|
|
Вакуумные уплотнительные фланцы
|
Набор фланцев PTFE с вакуумным датчиком и вентилем.
|
|
Вакуумный насос
|
- Включен двухступенчатый ротационный вакуумный насос 156 л/мин с максимальным вакуумным давлением 10E-4 торр.
- Включен шланг из нержавеющей стали для подключения к трубной печи.
- В комплект входит холодный ловушка для захвата коррозионных материалов.
|
|
Измеритель потока и давления
|
Внутри мобильного корпуса установлен один трехканальный газовый смеситель из PTFE, позволяющий контролировать расход газов.
|
|
Габариты
|
- Печь: 550 x 380 x 520 мм
- Нижний мобильный корпус: 600 x 600 x 650 мм
|
|
Чистый вес
|
~ 70 кг
|
|
Вес при отгрузке
|
350 фунтов
|
|
Габариты при отгрузке
|
Два корпуса на одной поддон: 45"x45"x35"/корпус
|
|
Гарантия
|
Одногодичная ограниченная гарантия производителя (расходные материалы, такие как обрабатывающие трубы, уплотнители и нагревательные элементы, не покрываются гарантией, пожалуйста, заказывайте замену из соответствующих продуктов ниже).
|
|
Соответствие
|
Сертифицировано CE
Сертификация NRTL или CSA доступна по запросу за дополнительную плату
|
|
Примечания
|
- Для получения точной температуры в трубной печи необходимо самостоятельно откалибровать температуру.
- Предупреждение: Трубные печи с кварцевой трубой предназначены для использования с вакуумом и низким давлением < 0,2 бар
- Внимание: На газовом цилиндре должен быть установлен двухступенчатый регулятор давления, чтобы ограничить давление ниже 3 PSI для безопасной эксплуатации.
- Расход газов должен быть ограничен <200 SCCM для снижения термических ударов на трубу
- Вакуумные давления могут безопасно использоваться только до 1000°C
|
1200C Трубная Печь с Антикоррозийным Комплектом OTF-1200X-F3LV Применения
- Химическое осаждение из паровой фазы (CVD):
Идеально подходит для осаждения тонких пленок и покрытий на различных подложках.
Используется в производстве полупроводниковых устройств и фотогальванических ячеек.
Облегчает движение атомов или молекул в твердых телах.
Необходимо для разработки и обработки полупроводниковых материалов.
- Термическая обработка под вакуумом:
Позволяет осуществлять отжиг, спекание и другие термообработки в контролируемой вакуумной среде.
Снижает загрязнение и окисление, улучшая свойства материала.
- Защита газом с помощью экранирования:
Оснащена системой газов из PTFE для превосходных антикоррозийных свойств.
Подходит для экспериментов с использованием коррозионных или реактивных газов.
1200C Трубная Печь с Антикоррозийным Комплектом OTF-1200X-F3LV Упаковка
Наша 1200C Трубная Печь с Антикоррозийным Комплектом OTF-1200X-F3LV осторожно обрабатывается во время хранения и транспортировки, чтобы сохранить качество продукта в его первоначальном состоянии.
Технические характеристики
OTF-1200X Серия Трубчатая Печь
|
Структура печи
|
- Двойной стальной корпус с воздушным охлаждением: Обеспечивает повышенную прочность и безопасность
- Встроенный термостат: Автоматически активирует систему охлаждения, когда температура корпуса превышает 55°C
- Антикоррозионный датчик: Обеспечивает точные вакуумные измерения, даже в присутствии агрессивных газов
- Вакуумный насос с холодным ловушкой: Защищает вакуумный насос, предотвращая попадание агрессивных газов к нему
- Смешиватель газов PTFE и фланец: Минимизирует контакт агрессивных газов с уязвимыми поверхностями
|
|
Нагревательные элементы
|
Сплав Fe-Cr-Al с добавлением Mo
|
|
Мощность
|
2,5 кВт, 208-240 В переменного тока, однофазный, 50/60 Гц
|
|
Рабочая температура
|
- Макс. температура: 1200℃ (1 ч); 1100℃ (непрерывно)
- Скорость нагрева: ≤20℃/мин
- Точность температуры: ±1,0℃
|
|
Длина зоны нагрева
|
400 мм
|
|
Контроллер температуры
|
- PID автоматическое управление через SCR (твердотельные выпрямители) с фазовым управлением, ограничителем тока.
- 30 программируемых сегментов для точного контроля скорости нагрева, скорости охлаждения и времени выдержки.
- Встроенная функция автоматической настройки PID с защитой от перегрева и обрыва термопары.
- Защита от перегрева и сигнализация позволяют работать без сопровождающих.
- ±1 ºC точность температуры.
- Порт связи RS485.
*Продвинутый контроль температуры (по желанию)
|
|
Размеры и материалы трубки
|
Кварцевая трубка
Внешний диаметр: 80 мм x Внутренний диаметр: 75 мм x Длина: 1000 мм
|
|
Цифровой вакуумный манометр
|
- Коррозионно-устойчивый манометр с диафрагмой емкостного типа с керамическим датчиком, специально разработан для вакуумных измерений в присутствии коррозионных газов.
- Манометр установлен на вакуумном фланце (справа) трубчатой печи и обеспечивает широкий диапазон измерений (10^-5 ~ 1000 торр).
|
|
Вакуумные запорные фланцы
|
Комплект фланцев из PTFE с вакуумным манометром и клапаном.
|
|
Вакуумный насос
|
- 156 л/мин двухступенчатый ротационный вінецный вакуумный насос включен с максимальным вакуумным давлением 10E-4 торр.
- Включает шланг из нержавеющей стали для подключения к трубчатой печи.
- Холодная ловушка включена для захвата коррозионных материалов.
|
|
Расходомер и манометр давления
|
В мобильном корпусе установлен один PTFE трехканальный смешиватель газов для мониторинга скоростей потока газа.
|
|
Размеры
|
- Печь: 550 x 380 x 520 мм
- Нижний мобильный корпус: 600 x 600 x 650 мм
|
|
Чистый вес
|
~ 70 кг
|
|
Вес при отгрузке
|
350 фунтов
|
|
Размеры при отгрузке
|
Два корпуса в одной палете: 45"x45"x35" /коробка
|
|
Гарантия
|
Одногодичная ограниченная гарантия производителя (Расходные материалы, такие как процессные трубки, уплотнительные кольца и нагревательные элементы, не покрываются гарантией, пожалуйста, заказывайте замену в связанных товарах ниже).
|
|
Соблюдение стандартов
|
Сертифицировано CE
Сертификация NRTL или CSA доступна по запросу за дополнительную плату
|
|
Примечания
|
- Для получения точной температуры внутри трубчатой печи необходимо самостоятельно откалибровать температуру.
- Предупреждение: Трубчатые печи с кварцевой трубкой предназначены для использования под вакуумом и низким давлением < 0,2 бар
- Внимание: Необходимо установить двухступенчатый регулятор давления на газовом цилиндре, чтобы ограничить давление ниже 3 PSI для безопасной работы.
- Скорость потока газов должна быть ограничена до <200 SCCM, чтобы уменьшить термические удары для трубки
- Вакуумные давления можно безопасно использовать только до 1000°C
|
ОТЗЫВЫ КЛИЕНТОВ
Нет отзывов о текущих продуктах.
Пишите для нас
Конвертеры и калькуляторы
