1200C Двунаправленная трубная печь для CVD OTF-1200X-S2-50SL-CVD Описание
1200C Двунаправленная трубная печь для CVD OTF-1200X-S2-50SL-CVD - это двустрелочная печь на рельсе, специально разработанная для термического химического осаждения (CVD). Она оснащена кварцевой трубкой диаметром 2" и длиной 55", имеющей фланцы, и может достигать максимальной рабочей температуры 1200°C. Этот уникальный дизайн позволяет двум печам с 2" трубами скользить вдоль рельса, что обеспечивает оптимальное размещение для термического испарения/сублимации исходных материалов и осаждения пленок.
Перемещение печи с одной стороны на другую позволяет достигать быстрого нагрева и охлаждения до 100°C/мин. Дополнительные функции включают моторизованный сдвиг для повышения автоматизации, системы подачи газа с массовым расходом (MFC) и генератор RF-плазмы. Эти опции позволяют создать гибкую систему термического CVD (TCVD) по низкой цене, подходящую для широкого спектра исследовательских и промышленных приложений.
1200C Двунаправленная трубная печь для CVD OTF-1200X-S2-50SL-CVD Технические характеристики
OTF-1200X Серия Трубная Печь
|
Структура печи
|
- Двуслойные стальные конструкции: Обе печи изготовлены из двуслойной стали, способной выдерживать температуры до 1200°C.
- Зоны нагрева и постоянной температуры: Каждая печь оснащена зоной нагрева длиной 200мм и зоной постоянной температуры длиной 60мм, обеспечивая точный термический контроль.
- Система скользящих рельсов: Оснащена парой скользящих рельсов внизу, позволяя вручную настраивать сдвиг с одной стороны на другую с максимальной длиной сдвига 400мм, что облегчает гибкое размещение и работу.
- Готовые к использованию вакуумные фланцы: Вакуумные фланцы предварительно установлены для немедленного монтажа и использования, что обеспечивает быструю интеграцию в вакуумные системы для различных применений.
|
|
Нагревательные элементы
|
Сплав Fe-Cr-Al с добавлением Mo
|
|
Мощность
|
2.5 кВт, 208-240 В переменного тока, однофазный, 50/60 Гц
|
|
Рабочая температура
|
- Макс. температура: 1200℃ (1 час); 1100℃ (непрерывно)
- Скорость нагрева: ≤20℃/мин
- Точность температуры: ±1.0℃
|
|
Длина нагревательной зоны
|
200 мм (~8") для каждой печи
|
|
Зона постоянной температуры
|
60 мм
|
|
Размеры обрабатывающей трубки
|
Высокочистая кварцевая трубка
Размер: 50 мм O.D x 44 мм I.D x 1500 мм Длина
Опционально: доступна трубка из высокотемпературного сплава S310 для более высокого давления (100 PSI) за дополнительную плату
|
|
Контроллер температуры
|
- Две печи имеют автоматический ПИД-контроль с 30 программируемыми сегментами для точного контроля скорости нагрева, скорости охлаждения и времени выдержки.
- Встроенная сигнализация и защита от перегрева позволяют использовать без присмотра.
- В комплект входят два термопары типа К.
|
|
Вакуумные фланцы
|
- Нержавеющие вакуумные фланцы с вакуумным манометром установлены на обоих концах трубы с прочной поддержкой.
- Опционально доступен фланец с вакуумным портом KF25 и цифровым вакуумным манометром за дополнительную плату, а также водяной холодный фланец.
|
|
Скользящие рельсы / Стол
|
- Двойные скользящие рельсы из стали с хромированным покрытием
- Длина скольжения: 1200 мм
- В комплект входит два стопора для удержания положения печей.
|
|
Габариты
|
- Печь: 340 x 300 x 400 мм
- Всего: 1600 x 430 x 500 мм (печи + скольжение)
|
|
Чистый вес
|
~ 80 кг
|
|
Размер упаковки для отправки
|
70" x 45" x 45" (дюймы)
|
|
Гарантия
|
Одногодичная ограниченная гарантия производителя (Расходные материалы, такие как обрабатываемые трубки, уплотнительные кольца и нагревательные элементы, не покрываются гарантией, просьба заказывать замену в смежных продуктах ниже).
|
|
Соответствие
|
Сертифицировано CE
NRTL или CSA сертификация доступна по запросу за дополнительную плату
|
|
Примечания
|
- Трубные печи с кварцевыми трубками предназначены для эксплуатации под вакуумом и низким давлением < 0.2 бар / 3 psi / 0.02 МПа
- Внимание: На газовом баллоне должен быть установлен двухступенчатый регулятор давления для ограничения давления ниже 3 PSI для безопасной эксплуатации.
- Скорость потока газов должна быть ограничена < 200 SCCM (или 200 мл/мин) для снижения тепловых шоков к трубке
- Определение предела вакуума для всех трубных печей из кварца: * Вакуумные давления могут безопасно использоваться только до 1000°C
|
1200C Двунаправленная трубная печь для CVD OTF-1200X-S2-50SL-CVD Применения
Облегчает осаждение тонких пленок и покрытий на подложки через термические процессы.
Используется в производстве полупроводников, фотогальванических ячеек и передовых материалов.
Обеспечивает синтез наноматериалов, таких как нанотрубки и графен, с помощью контролируемых термических процессов.
Поддерживает разработку современных керамических и композитных материалов.
- Испарение/сублимация исходных материалов:
Размещает две трубные печи на скользящем рельсе для оптимизации процессов термического испарения или сублимации исходных материалов.
Облегчает точное позиционирование для равномерного осаждения пленки и обработки материалов.
- Высокие скорости нагрева и охлаждения:
Достигает быстрых скоростей нагрева и охлаждения до 100°C/мин, что критично для оптимизации времени обработки и свойств материалов.
- Гибкая конфигурация системы:
Предлагает дополнительные функции, такие как моторизованный сдвиг, системы подачи газа с массовым расходом (MFC) и интеграция генератора RF-плазмы.
Облегчает легкую настройку и адаптацию к специфическим исследовательским или промышленным потребностям.
1200C Двунаправленная трубная печь для CVD OTF-1200X-S2-50SL-CVD Упаковка
Наша 1200C Двунаправленная трубная печь для CVD OTF-1200X-S2-50SL-CVD осторожно обрабатывается во время хранения и транспортировки, чтобы сохранить качество нашего продукта в его оригинальном состоянии.
Технические характеристики
Серия OTF-1200X Трубчатая печь
|
Структура печи
|
- Двухслойные стальные конструкции: Обе печи выполнены из двухслойной стали и могут выдерживать температуры до 1200 °C.
- Зоны нагрева и постоянной температуры: Каждая печь имеет зону нагрева длиной 200 мм и зону постоянной температуры длиной 60 мм, обеспечивая точный тепловой контроль.
- Система скользящих рельсов: Оборудована парой скользящих рельсов внизу, позволяющих ручную регулировку с максимальным смещением 400 мм, что облегчает гибкое позиционирование и эксплуатацию.
- Готовые для использования вакуумные фланцы: Вакуумные фланцы предварительно установлены для немедленной настройки и использования, обеспечивая быструю интеграцию в вакуумные системы для различных приложений.
|
|
Нагревательные элементы
|
Сплав Fe-Cr-Al с добавлением Mo
|
|
Мощность
|
2,5 кВт, 208-240 В переменного тока, однофазный, 50/60 Гц
|
|
Рабочая температура
|
- Макс. Темп: 1200℃ (1 ч); 1100℃ (непрерывно)
- Скорость нагрева: ≤20℃/мин
- Точность температуры: ±1,0℃
|
|
Длина зоны нагрева
|
200 мм (~8") для каждой печи
|
|
Зона постоянной температуры
|
60 мм
|
|
Размер обрабатываемой трубки
|
Трубка из высокочистого кварца
Размер: 50 мм наружный диаметр x 44 мм внутренний диаметр x 1500 мм длина
Опционально: Доступна трубка из сплава S310 для более высокого давления (100 PSI) за дополнительную плату
|
|
Температурный контроллер
|
- Две печи с автоматическим PID-контролем с 30 программируемыми сегментами для точного контроля скорости нагрева, скорости охлаждения и времени выдержки.
- Встроенная сигнализация и защита от превышения температуры позволяют работать без присутствия оператора.
- Включены два термопары типа K.
|
|
Вакуумные фланцы
|
- Вакуумные фланцы из нержавеющей стали с вакуумным манометром установлены на обоих концах трубки с прочной опорой.
- Опционально доступен фланец с вакуумным портом KF25 и цифровым вакуумным манометром за дополнительную плату, а также водяной холодный фланец.
|
|
Скользящие рельсы / Стол
|
- Двойной скользящий рельс из стали с покрытием Cr
- Длина скольжения: 1200 мм
- Включены два зажимных устройства для фиксации положения печей.
|
|
Габаритные размеры
|
- Печь: 340 x 300 x 400 мм
- Итого: 1600 x 430 x 500 мм (печи + скользящий)
|
|
Чистый вес
|
~ 80 кг
|
|
Размер упаковки для доставки
|
70" x 45" x 45" (дюйм)
|
|
Гарантия
|
Одногодичная ограниченная гарантия производителя (расходные материалы, такие как обрабатываемые трубки, уплотнители и нагревательные элементы не покрываются гарантией, пожалуйста, заказывайте замену в соответствующих продуктах ниже).
|
|
Соответствие
|
Сертификация CE
Сертификация NRTL или CSA доступна по запросу за дополнительную плату
|
|
Примечания
|
- Трубчатые печи с кварцевыми трубками предназначены для использования при вакууме и низком давлении < 0.2 бар / 3 psi / 0.02 МПа
- Внимание: Необходимо установить двухступенчатый регулятор давления на газовом баллоне, чтобы ограничить давление ниже 3 PSI для безопасной эксплуатации.
- Расход газа должен быть ограничен до < 200 SCCM (или 200 мл/мин), чтобы минимизировать термические удары по трубке.
- Определение предела вакуума для всех кварцевых трубчатых печей: * Вакуумные давления могут безопасно использоваться только до 1000°C
|
ОТЗЫВЫ КЛИЕНТОВ
Нет отзывов о текущих продуктах.
Пишите для нас
Конвертеры и калькуляторы
