1700C Трубчатая печь с высоковакуумной системой и смесителем газов MFC GSL-1700X-4-HVC-LD Описание
1700C Трубчатая печь с высоковакуумной системой и смесителем газов MFC GSL-1700X-4-HVC-LD является одно-зонной алюминиевой трубчатой печью диаметром 60 мм, оснащенной высоковакуумной насосной системой, способной достигать давления до 10^-5 торр. Она оборудована 2-канальными точными цифровыми контроллерами массового потока, что обеспечивает точный контроль двух типов газов для процессов химического осаждения из паровой фазы (CVD) или диффузии. Эта печь может работать при температурах до 1600°C, что делает её подходящей для приложений, требующих контролируемой атмосферы и точного управления газами.
1700C Трубчатая печь с высоковакуумной системой и смесителем газов MFC GSL-1700X-4-HVC-LD Спецификации
Серия GSL-1700X Трубчатая печь
|
Структура печи
|
- Двойной стальной корпус с воздушным охлаждением: Обеспечивает надежную изоляцию и структурную целостность, обеспечивая безопасную эксплуатацию.
- Два вентилятора охлаждения: Поддерживают температуру корпуса ниже 55°C, повышая надежность и долговечность.
- Камера из высокочистого алюминия: Обеспечивает термическую стабильность и стойкость к высоким температурам, идеальна для требовательных приложений.
- Мобильная тележка с четырьмя колесами: Обеспечивает легкую мобильность и позиционирование в рабочей зоне, повышая гибкость.
- Готовая к использованию система вакуума и смешивания газов: Включает вакуумный фланец, манометр, клапаны, трубы и высоковакуумный насос для немедленной установки и эксплуатации, обеспечивая удобство и эффективность.
|
|
Обрабатывающая трубка
|
Материал: Высокая чистота алюминия
Одна алюминиевая трубка диаметром 60 мм O.D. (EQ-TA-60D-M1000) включена в комплект с печью.
Печь также может быть индивидуально изготовлена для работы с алюминиевой трубкой диаметром 50 мм или 80 мм O.D. за дополнительную плату, пожалуйста, свяжитесь с нами для получения дополнительной информации.
|
|
Нагревательные элементы
|
8 штук нагревательных элементов MoSi2, работающих при 1800°C
|
|
Мощность
|
AC 208-240V однофазный, 50/60 Гц
6 кВт
|
|
Рабочая температура
|
- Максимальная температура: 1650 ℃ (1 ч); 1600 ℃ (постоянно)
- Скоростьнагрева: ≤5 ℃/мин
- Точность температуры: ±1,0 ℃
|
|
Длина нагревательной зоны
|
Длина нагревательной зоны: 457 мм (18 дюймов)
Длина зоны постоянной температуры: 150 мм (6 дюймов) (+/-1°C)
|
|
Контроль температуры
|
- PID автоматический контроль через фазовый угловой резистор с 30 программируемыми сегментами.
- Точность температуры: ±1°C
- Термопара: типа B встроенная в печь
- Порт связи RS485.
|
|
Вакуумная герметизация
|
Одна пара нержавеющих вакуумных фланцев с:
- один механический вакуумный манометр
- два игольчатых клапана
- один KF-25 соединитель и переходник KF-25 на KF-40 для высоковакуумной установки.
- один соединитель трубки Swagelok 1/4"
|
|
Габариты
|
550 x 380 x 520 мм
|
Высоковакуумная станция
|
Мощность
|
100~110 Вт
|
|
Номинальное напряжение
|
AC 208-240V однофазный, 50/60 Гц
|
|
Размер
|
600(Д) x 600(Ш) x 700(В), мм
|
|
Структура
|
Размер мобильной тележки: 600 (Д) x 600 (Ш) x 700(В), мм
Максимальная нагрузка: 600 фунтов сверху
Панель управления молекулярным насосом: LCD цифровой
Внутри: Вакуумный насос
|
|
Панель управления
|
Однокнопочная работа - диафрагменный насос и турбонасос начнут работу после нажатия кнопки "Старт".
Система управления скоростью вращения - контроллер будет управлять скоростью вращения турбины в зависимости от уровня вакуума и скорости утечки в реакционной камере.
Автозащита - система защитит насос от повреждений из-за перегрева и превышения тока, если скорость утечки в реакционной камере слишком высока для достижения высокого вакуума.
LCD экран - интерфейс проверки параметров с двумя строками упрощает работу.
|
|
Объемный расход
|
Азот N2 33 л/с
Гелий He 39 л/с (2340 л/мин)
Водород H2 32 л/с
|
|
Рабочий диапазон
|
От 1000 мбар до <1E-7 мбар
|
|
Предельное давление
|
<1E-8 мбар (без утечек)
|
Контроль массового потока газа
|
Структура
|
Изготовлено из клапана из нержавеющей стали 316
Газовый смеситель: Φ80X120мм
600мм(Д) x 745мм(Ш) x 700мм(В)
6" цветной сенсорный экран управления для упрощения настройки параметров.
Сенсорное управление и возможность удаленного управления с ПК.
Доступен для настройки диапазон регулирования потока и количество газовых маршрутов. Пожалуйста, свяжитесь с нами для получения подробной информации.
|
|
Мощность
|
23 Вт на канал
|
|
Номинальное напряжение
|
AC 220V/50Гц однофазный
|
Примечания и Гарантия
|
Примечания к применению
|
Вакуумные давления могут быть безопасно использованы только до 1500°C для алюминиевых трубок
Трубчатые печи с алюминиевыми трубками предназначены для эксплуатации под вакуумом и низким давлением < 0,12 МПа (абсолютное давление)
|
|
Гарантия
|
Одногодичная ограниченная гарантия (Расходные материалы, такие как обрабатывающие трубки, уплотнительные кольца и нагревательные элементы, не покрываются гарантией, закажите замену среди сопутствующих продуктов ниже.)
|
|
Соблюдение стандартов
|
- Сертификат CE
- NRTL(UL61010) или CSA сертификация доступна за дополнительную плату.
|
|
Размеры для перевозки
|
Два кейса на одной пластиковой поддоне: 45x45x35/кейса
|
|
Предупреждения
|
- Трубчатые печи с алюминиевыми трубками предназначены для эксплуатации под вакуумом и низким давлением < 0,02 МПа/ 3 PSI
- Внимание: Двухступенчатый регулятор давления должен быть установлен на газовый баллон, чтобы ограничить давление ниже 3 PSI для безопасной работы.
- Никогда не нагревайте печь, пока клапан сброса газа закрыт и существует положительное давление в камере печи. Манометр должен использоваться для постоянного мониторинга состояния камеры на протяжении всего процесса нагрева; пожалуйста, немедленно откройте клапан сброса газа, как только давление в камере превысит 3 PSI, чтобы избежать непредвиденных повреждений.
- Скорость потока для газов должна быть ограничена до < 200 SCCM (или 200 мл/мин)
- Вакуумные давления могут быть безопасно использованы только до 1500°C
|
1700C Трубчатая печь с высоковакуумной системой и смесителем газов MFC GSL-1700X-4-HVC-LD Применения
- Химическое осаждение из паровой фазы (CVD):
Обеспечивает осаждение тонких пленок и покрытий на подложки с контролируемыми газовыми атмосферами.
Используется в производстве полупроводников, поверхностном покрытии и синтезе наноматериалов.
Обеспечивает контролируемое движение атомов или молекул внутри твердых материалов.
Необходимо для легирования полупроводниковых материалов и улучшения свойств материалов.
- Высокотемпературный отжиг и спекание:
Идеально подходит для процессов отжига для улучшения кристаллической структуры материалов и устранения дефектов.
Поддерживает спекание керамики и металлов для увеличения плотности и улучшения механических свойств.
- Научные исследования и разработки:
Обеспечивает контролируемую среду для изучения поведения и свойств материалов при высоких температурах.
Необходимо для изучения новых материалов и процессов в научных лабораториях.
1700C Трубчатая печь с высоковакуумной системой и смесителем газов MFC GSL-1700X-4-HVC-LD Упаковка
Наша 1700C Трубчатая печь с высоковакуумной системой и смесителем газов MFC GSL-1700X-4-HVC-LD аккуратно транспортируется и хранится, чтобы сохранить качество нашего продукта в его первоначальном состоянии.
Технические характеристики
GSL-1700X Серия Трубчатая Печь
|
Структура печи
|
- Двухслойный стальной корпус с воздушным охлаждением: Обеспечивает хорошую изоляцию и структурную целостность, гарантируя безопасную эксплуатацию.
- Два охладительных вентилятора: Поддерживают температуру корпуса ниже 55°C, усиливая надежность и долговечность.
- Камера из высокопурового алюмосиликатного материала: Обеспечивает термостабильность и стойкость к высоким температурам, идеальна для требовательных приложений.
- Мобильная тележка с четырьмя колесами: Обеспечивает легкость перемещения и позиционирования в рабочем пространстве, увеличивая гибкость.
- Готовая к использованию система смешивания газа и вакуума: Включает вакуумный фланец, манометр, клапаны, трубы и высоковакуумный насос для немедленной настройки и эксплуатации, обеспечивая удобство и эффективность.
|
|
Обрабатывающая труба
|
Материал: Высокопуровой алюмосиликатный материал
В комплект поставки печи входит одна обрабатывающая алюмосиликатная труба с внешним диаметром 60 мм (EQ-TA-60D-M1000).
Печь также может быть индивидуально изготовлена под трубу диаметром 50 мм или 80 мм за дополнительную стоимость, пожалуйста, свяжитесь с нами для получения дополнительной информации.
|
|
Нагревательные элементы
|
8 шт. нагревательных элементов из MoSi2 класса 1800°C
|
|
Энергия
|
AC 208-240V однофазный, 50/60Hz
6KW
|
|
Рабочая температура
|
- Макс. температура: 1650℃ (1 ч); 1600℃ (непрерывно)
- Скорость нагрева: ≤5℃/мин
- Точность температуры: ±1.0℃
|
|
Длина зоны нагрева
|
Длина зоны нагрева: 457 мм (18")
Длина зоны постоянной температуры: 150 мм (6") (+/-1°C)
|
|
Контроль температуры
|
- PID автоматический контроль с помощью ограниченного текущего фазового управляемого резистора с 30 программируемыми сегментами.
- Точность температуры: ±1°C
- Термопара: тип B встроена в печь
- Порт связи RS485.
|
|
Вакуумное уплотнение
|
Одна пара фланцев из нержавеющей стали с:
- одним механическим вакуумным манометром
- двумя игольчатыми клапанами
- одним соединителем KF-25 и адаптером KF-25 до KF-40 для высоковакуумной станции.
- одним соединителем 1/4" Swagelok
|
|
Габариты
|
550 x 380 x 520 мм
|
Высоковакуумная станция
|
Энергия
|
100~110W
|
|
Номинальное напряжение
|
AC 208-240V однофазный, 50/60Hz
|
|
Размер
|
600(Д) x 600(Ш) x 700(В), мм
|
|
Структура
|
Размер мобильной тележки: 600 (Д) x 600 (Ш) x 700(В), мм
Максимальная нагрузка: 600 фунтов сверху
Панель управления молекулярным насосом: ЖК-дисплей
Внутри: Вакуумный насос
|
|
Панель управления
|
Однокнопочное управление - диафрагменный насос и турбонасос запускаются после нажатия кнопки "старт".
Контроль скорости вращения системы - контроллер будет управлять скоростью вращения турбины в зависимости от уровня вакуума и скорости утечки в реакционной камере.
Самозащита - система защитит насос от повреждения из-за перегрева и чрезмерного тока, если скорость утечки в реакционной камере слишком велика для достижения высокого вакуума.
ЖК-экран - интерфейс с проверкой параметров на двух линиях, облегчает рабочий процесс.
|
|
Объемный расход
|
Азот N2 33 Л/с
Гелий He 39 Л/с (2340Л/мин)
Водород H2 32 Л/с
|
|
Рабочий диапазон
|
От 1000 мбар до <1E-7 мбар
|
|
Конечное давление
|
<1E-8 мбар (без утечек)
|
Управление массовым потоком газа
|
Структура
|
Изготовлено из клапана из нержавеющей стали 316
Смесительная установка для газа: Φ80X120мм
600мм(Д) x 745мм(Ш) x 700мм(В)
Панель управления с цветным сенсорным экраном 6" для легкой настройки параметров.
Управление с сенсорного экрана и удаленное управление через ПК.
Диапазон контроля расхода и количество газовых путей могут быть настроены индивидуально. Пожалуйста, свяжитесь с нами для получения подробной информации.
|
|
Энергия
|
23W на канал
|
|
Номинальное напряжение
|
AC 220V/50Hz однофазный
|
Примечания и гарантия
|
Параметры применения
|
Вакуумные давления могут безопасно использоваться только до 1500°C для алюмосиликатных труб.
Трубчатые печи с алюмосиликатными трубами предназначены для использования под вакуумом и низким давлением < 0,12 МПа (абсолютное давление)
|
|
Гарантия
|
Годовая ограниченная гарантия (расходные материалы, такие как обрабатывающие трубы, О-образные кольца и нагревательные элементы не покрываются гарантией, пожалуйста, заказывайте замену в связанных продуктах ниже.)
|
|
Соответствие
|
- Сертифицировано CE
- Сертификация NRTL(UL61010) или CSA доступна за дополнительную плату.
|
|
Габариты упаковки
|
Два ящика на одной пластиковой палете: 45x45x35/ящик
|
|
Предостережения
|
- Трубчатые печи с алюмосиликатными трубами предназначены для использования под вакуумом и низким давлением < 0,02 МПа/ 3 PSI
- Внимание: Двухступенчатый регулятор давления должен быть установлен на газовом цистерне для ограничения давления ниже 3 PSI для безопасной работы.
- Никогда не нагревайте печь, пока клапан выпуска газа закрыт и внутри печи имеется положительное давление. Манометр должен использоваться для тщательного мониторинга состояния камеры в течение всего процесса нагрева; пожалуйста, немедленно откройте клапан выпуска газа, как только давление в камере превысит 3 PSI, чтобы предотвратить непредвиденные повреждения.
- Расход газа должен быть ограничен до < 200 SCCM (или 200мл/мин)
- Вакуумные давления могут безопасно использоваться только до 1500°C
|
ОТЗЫВЫ КЛИЕНТОВ
Нет отзывов о текущих продуктах.
Пишите для нас
Конвертеры и калькуляторы
