ST6843 Кремниевые вращающиеся мишени, Si Target

Описание кремниевых вращающихся мишеней

Кремниевые вращающиеся мишени предназначены для обеспечения высокой скорости осаждения, увеличения срока службы напыления и равномерного нанесения тонкопленочных покрытий. По сравнению с плоскими мишенями вращающиеся мишени обеспечивают более эффективное использование материала и сокращение времени простоя благодаря более длительному сроку службы. Эти мишени обычно изготавливаются из кремния сверхвысокой чистоты (например, 99,999 %) и могут быть легированы или допированы для регулировки электрического сопротивления в соответствии с конкретными требованиями к осаждению.

Ключевые особенности:

Высокая чистота (до 5N или 6N): Обеспечивает низкий уровень загрязнения и высококачественные свойства пленки.

Длительный срок службы мишени: Роторная конструкция обеспечивает более длительную непрерывную работу и лучшее использование материала.

Отличная однородность пленки: Идеально подходит для нанесения покрытий на большие площади благодаря постоянной скорости осаждения.

Низкое образование частиц: Прецизионное изготовление сводит к минимуму такие дефекты, как дуги или частицы.

Настраиваемое удельное сопротивление: Доступны варианты с собственным или легированным сопротивлением для удовлетворения технологических потребностей.

Области применения кремниевых вращающихся мишеней

- Плоскопанельныедисплеи (FPD): В качестве источника кремния для слоев тонкопленочных транзисторов (TFT).

- Полупроводники: Используются в процессах осаждения для интегральных схем и микроэлектроники.

- Фотовольтаика: ключевой материал для осаждения слоев кремния в тонкопленочных солнечных батареях.

- Оптическиепокрытия: Применяется в антибликовых или защитных покрытиях для стекла и линз.

Упаковка кремниевых вращающихся мишеней

Наша продукция упаковывается в индивидуальные картонные коробки различных размеров в зависимости от габаритов материала. Небольшие изделия надежно упаковываются в полипропиленовые коробки, в то время как крупные изделия помещаются в деревянные ящики, изготовленные на заказ. Мы обеспечиваем строгое соблюдение требований к упаковке и использование соответствующих амортизирующих материалов для обеспечения оптимальной защиты при транспортировке.

Упаковка: Картонная коробка, деревянная коробка, бумажная бочка, железная бочка или на заказ.

Пожалуйста, ознакомьтесь с деталями упаковки, предоставленными для справки.

Часто задаваемые вопросы о кремниевых вращающихся мишенях

Q1. Что такое кремниевая ротационная мишень?

Кремниевая ротационная мишень - это цилиндрическая мишень для напыления из высокочистого кремния, используемая в ротационных системах магнетронного напыления для нанесения тонких пленок на такие подложки, как стекло, полупроводники и солнечные панели.

Q2. В чем преимущества ротационных мишеней перед планарными?

Более длительный срок службы за счет более равномерной эрозии.

Более высокая степень использования материала, часто более 80-90 %.

Лучшая однородность пленки на подложках большой площади.

Сокращение времени простоя благодаря меньшему количеству замен мишеней.

Q3. Каковы основные области применения кремниевых вращающихся мишеней?

Плоскопанельные дисплеи (FPD)

Полупроводниковые устройства

Тонкопленочные солнечные элементы

Оптические покрытия

Фотоэлектрическая и микроэлектронная промышленность

Производственный процесс

Проблемы с мишенями для напыления кремния:

1. Отливка поликремниевых слитков:

Процесс начинается с отливки высококачественных слитков поликремния, что обеспечивает фундаментальные свойства материала и структурную целостность, необходимые для применения напыления.

2. Сплющивание и формовка:

Отлитый слиток затем разрезается и формуется на блоки соответствующих размеров, подготавливая материал для дальнейшей прецизионной обработки.

3. Обработка внутреннего отверстия:

Центральное отверстие тщательно сверлится с высокой точностью размеров. Точность этого внутреннего отверстия очень важна для правильного монтажа и выравнивания в роторных системах напыления.

4. Шлифовка наружного диаметра:

Внешняя поверхность шлифуется для достижения превосходной округлости, гладкой поверхности и жестких допусков на размеры. Этот этап обеспечивает устойчивость мишени во время высокоскоростного вращения и способствует равномерному осаждению пленки в процессе напыления.