ST0059 Мишень для напыления циркония (Zr Sputtering Target)

Циркониевая мишень для напыления Введение

Цирконий (Zr) - серебристый металл с плотностью 6,52 г/см3. Zr имеет очень малое сечение поглощения нейтронов и относительно высокую температуру плавления (1855 °C или 3371 °F), что делает цирконий отличным материалом для ядерных стержней. Циркониевая губка и кристаллические слитки являются сырьем для изготовления мишеней для напыления. Хотя губка Zr дешева и имеет низкую чистоту, она содержит большое количество кислорода. Кристаллические слитки циркония имеют более высокую стоимость и чистоту, что делает их идеальным материалом для изготовления мишеней для напыления.
И Zr, и Hf могут применяться в ядерной промышленности. Однако они обладают разными свойствами при захвате нейтронов. Несмотря на то, что они обладают во многом схожими свойствами, их необходимо разделять методом жидкостной экстракции или дистилляции расплавленной соли. Мы предлагаем два класса циркониевых мишеней высокой чистоты: с низким содержанием гафния (250ppm, или 0,025 %) и с высоким содержанием гафния.

Области применения циркониевых мишеней для напыления

1. Производство полупроводников: Используется для осаждения тонких пленок циркония на полупроводниковые подложки при изготовлении интегральных схем (ИС), микрочипов и других электронных компонентов. Мишени для напыления циркония помогают создавать тонкие пленки с точной толщиной и однородностью, что имеет решающее значение для производительности и надежности полупроводниковых устройств.

2. Оптические покрытия: Используются при производстве оптических покрытий для линз, зеркал и других оптических компонентов в таких отраслях, как телекоммуникации, аэрокосмическая промышленность и научные исследования. Тонкие пленки циркония, осажденные с помощью напыления, улучшают оптические свойства поверхностей, такие как отражательная способность и светопропускание, для различных применений.

3. Инженерия поверхности: Используется в процессах модификации поверхности, включая осаждение циркониевых покрытий для повышения износостойкости, коррозионной стойкости и биосовместимости материалов. Мишени для циркониевого напыления позволяют осаждать тонкие пленки с заданными свойствами для удовлетворения специфических требований в таких отраслях, как автомобильная, медицинская и аэрокосмическая.

4. Тонкопленочные солнечные элементы: Используются в производстве тонкопленочных солнечных элементов, где материалы на основе циркония служат в качестве буферных слоев, прозрачных проводящих оксидов или обратных контактов для повышения эффективности и производительности солнечных панелей. Мишени для напыления циркония играют решающую роль в осаждении этих тонкопленочных слоев с точным контролем состава и толщины.

Технические характеристики мишени для напыления циркония

Упаковка мишеней для циркониевого напыления

Наши мишени для циркониевого напыления тщательно обрабатываются, чтобы предотвратить повреждения во время хранения и транспортировки и сохранить качество нашей продукции в первоначальном состоянии.

Часто задаваемые вопросы о мишенях для напыления циркония

Можно ли легировать или допировать циркониевые мишени для напыления?

Да, циркониевые мишени можно легировать или допировать другими элементами, например иттрием или ниобием, чтобы изменить их свойства для специализированных применений.

Требуются ли циркониевым мишеням для напыления подложки?

В зависимости от системы напыления и области применения циркониевые мишени могут быть приклеены к медным опорным пластинам для улучшения теплоотвода и стабильности.

Похожие статьи:

Для чего используется цирконий? Ядерная промышленность и многое другое

Где используется цирконий

Разделение циркония и гафния

Применение циркониевых изделий